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VOCs在大氣中的主要化學過程包括均相化學反應和非均相化學反應。均相化學反應是指在氣體中的化學反應，VOCs大多是還原性物質，在大氣中被臭氧等氧化性氣體氧化生成包括甲醛等含氧有機物乃至最終生成二氧化碳，另一部分則會變成不容易揮發的有機物最終變成二次有機顆粒物；而非均相化學反應是指在固、液顆粒物表面的化學轉化和光化學過程，最終生成的二次有機氣溶膠，在不利氣象條件下易引發PM2.5污染。